MARCH AP600

March AP-600 等离子清洗机

 

特点和优势

* 触摸屏控制,图形用户界面显示实时工艺信息

* 灵活的电极布局适用于各种不同的零件、元件或载具

* 13.56 MHz 射频发生器带自动调谐网络,提供良好的工艺重复性。

* 方便的厂务设施连接,用于验证工艺的定期校准需求。

*紧凑的桌面结构等离子处理

诺信MARCH的AP-600 等离子清洗机系统是设计用于提供均匀的等离子清洁和处理。具有良好的操作简单性、可靠性,以及更低的设备成本。

AP-600是完全自包含的系统,占用较小的桌面面积。系统机架将等离子腔体、电子控制、13.56 MHz射频发生器、自动调谐网络(仅仅真空泵是独立于系统之外的)都包含在内。设备维护是通过一个互锁门和可拆箱面板来进入设备内部的。

等离子腔体是由高质量的铝和铝固定装置构成的,具有良好的耐用性。等离子腔体支持多达到7层可以移动电源或接地电极板,以适合广泛的零件、元件、载具、托盘、料盒或各种舟。

等离子清洗,表面活化和附着力改善

AP-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。

AP-600系统能够适合广泛的工艺气体,包括氩气、氧气、氢气、氦气及氟化气体。标配2个气体流量控制器,最多可配4路。

 

规格:

外形尺寸

W (宽)x D(长) x H(高) – 占地面积 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米

净重 221公斤 (487磅)

设备间隙 右侧、左侧、前面–至少 569毫米,后面–至少254毫米

 

处理腔体

*容量 50.4 升

多钟电极配置 电源-接地、接地-电源、电源-电源

电极插槽数 7

电极间距 25.4毫米

 

电极

电源电极面积 :330(宽) x 330(进深) 毫米

多孔接地电极面积 :368(宽) x 330(进深) 毫米

悬浮电极面积 :330(宽) x 330(进深) 毫米

 

射频电源

标配电源 600 W

频率 13.56 MHz

 

气体控制

流量计 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)

MFC最多可配置数量 4

 

控制和接口

软件控制 PLC 控制,触摸屏界面

远程接口 PlasmaLINK, ProcessLINK

 

真空泵

标配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有氧油除雾器

选配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有防锈油除雾器

选配干泵 22cfm (立方英尺/分钟)

干泵净化氮气用量 2slm (升/分钟)

 

厂务设施

电源供应 110 VAC,20A,50/60Hz,单相,12AWG,3线;或220 VAC, 10A,50/60 Hz,单相,12 AWG,3线

工艺气体管径及接口类型 外径6.35毫米(0.25英寸),Swagelok管

工艺气体纯度 实验室或电子等级

工艺气体压力 *小0.69 bar (10 psig)至*1.03 bar (15 psig),可调节

净化气体管径及接口类型 外径6.35 毫米(0.25 英寸),Swagelok管

净化气体纯度 实验室或电子等级N2/CDA

净化气体压力 *小2 bar (30 psig) 至*6.9 bar (100 psig),可调节

气动阀接口及管径 外径6.35 毫米(0.25 英寸),Swagelok管

压缩空气纯度 CDA、无油、露点温度 ≤7°C (45°F),微粒直径 <5 μm

压缩空气压力 *小3.45 bar (50 psig) 至*6.89 bar (100 psig) ,可调节

排气 外径38毫米(1.5 英寸)管道法兰

 

符合标准

半导体 通过S2/S8 (环境&健康/人体工程学)认证

通过CE认证

 

主要技术参数:

-占地尺寸:569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米

 

-处理腔体:

*容量 50.4 升

多钟电极配置 电源-接地、接地-电源、电源-电源

电极插槽数 7

电极槽间距 25.4毫米

电源电极尺寸: 330(宽) x 330(进深) 毫米

多孔接地电极尺寸:368(宽) x 330(进深) 毫米

悬浮电极面积 :330(宽) x 330(进深) 毫米

-射频电源功率:

标配电源 600 W

频率 13.56 MHz

 

-气体控制:

流量计 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)

MFC最多可配置数量 4

 

-控制和接口:

软件控制 PLC 控制,触摸屏界面

远程接口 PlasmaLINK, ProcessLINK


-真空泵:

标配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有氧油除雾器

选配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟),配有防锈油除雾器

选配干泵 22cfm (立方英尺/分钟)

干泵净化氮气用量 2slm (升/分钟)

-CE认证

-SMEMA 1.2兼容

-SEMI E-10